1. 分光室：パッシェン＝ルンゲ構造を採用し、ローランド円上回折格子の直径は400mmです。間欠式真空システムにより、真空ポンプ稼働時間を5％未満に抑えます。

2. 光学システム：凹面回折格子はドイツZeiss社製で、刻線密度が2400本/mm、一次スペクトル線分散率は1.04nm/mmです。

3. 制御測定システム：日本ハママツ製の高性能リニアCMOS検出素子を活用した全スペクトル測定方式を採用。鉄系、銅系、アルミニウム系、チタン系、鉛系など各種鉄鋼・非鉄金属素材の元素分析に対応する汎用分析装置です。

4. 励起光源：デジタル式プラズマスパーク光源に加え、高エネルギー予備燃焼技術（HEPS）を搭載しています。

5. 分析時間：サンプル材質により変動し、通常40秒以内です。

6. 測定可能波長域は140–680nm、画素分解能は10pmです。